螺旋型天线螺旋波等离子体特性研究
作者:
作者单位:

1.成都大学机械工程学院;2.四川大学原子核科学技术研究所

作者简介:

通讯作者:

中图分类号:

O53

基金项目:

四川大学科研项目(2020SCUNL211)


Study on helicon plasma characteristics of helical antenna
Author:
Affiliation:

1.School of Mechanical Engineering, Chengdu University;2.Institute of Nuclear Science and Technology, Sichuan University

Fund Project:

  • 摘要
  • |
  • 图/表
  • |
  • 访问统计
  • |
  • 参考文献
  • |
  • 相似文献
  • |
  • 引证文献
  • |
  • 资源附件
  • |
  • 文章评论
    摘要:

    为提高等离子体密度和工质气体电离率,本文采用螺旋天线产生的螺旋波激励Ar等离子体,并利用射频补偿Langmuir 探针分析了等离子体的离子密度和电子温度特征. 试验结果表明,气压增加的同时,随着功率的升高,螺旋波等离子体出现放电模式转换,提前进入螺旋波放电模式. 在1.0 Pa压强下,当射频功率达到400 W时,等离子体进入螺旋波放电模式,此时扩展区域的等离子体密度超过1e18 m-3. 电子密度在放电管中心区域最高,并沿径向逐渐降低. 本文的研究结果将为大体积H2螺旋波等离子体提供依据和经验.

    Abstract:

    In order to improve the plasma density and the ionization rate of working medium gas, the helical wave generated by helical antenna is used to excite Ar plasma, and the characteristics of ion density and electron temperature of plasma are analyzed by RF compensated Langmuir probe. The experimental results show that with the increase of air pressure and power, the helicon plasma enters the helicon discharge mode in advance. Under the pressure of 1.0 Pa, when the RF power reaches 400 W, the plasma discharge enters the helicon discharge mode, and the plasma density in the extended region exceeds 1e18 m-3. The electron density is the highest in the center of the discharge tube and gradually decreases along the radial direction. The research results will provide the basis and experience for the large volume H2 helicon plasma.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

引用本文格式: 付唯,汤栋,陈建军,陈波,叶宗标,芶富均,张坤. 螺旋型天线螺旋波等离子体特性研究[J]. 四川大学学报: 自然科学版, 2022, 59: 024003.

复制
分享
文章指标
  • 点击次数:
  • 下载次数:
  • HTML阅读次数:
  • 引用次数:
历史
  • 收稿日期:2021-08-25
  • 最后修改日期:2021-11-02
  • 录用日期:2021-11-15
  • 在线发布日期: 2022-04-01
  • 出版日期: